Optimierung, Entwicklung und Beratung Beschichtungsprozesse

12/2013 – offen

Mit meiner langjährigen beruflichen Erfahrung im Bereich der Beschichtungstechnologie biete ich als selbständiger Ingenieur Beratung und konkrete Entwicklung/Optimierung von Beschichtungsprozessen an.

Schwerpunkt sind PE-CVD-Schichten, die eingesetzt werden
- in der Produktion von integrierten Schaltkreisen und Solarzellen
- in der Mikrosystemtechnik
- zur Verschleißminderung
- zur Vergütung von Gläsern

Durchgeführte Arbeiten als selbständiger Ingenieur (Zeitraum 2014-2016):

- Entwicklung Beschichtungsprozesse zur Vergütung von Display-Gläsern
- Branche: Anlagenbau - Vakuumbeschichtung
- Optimierung PECVD-Prozesstechnik für homogene, Kanten bedeckende Vergütung
- Zielvorgabe erreicht durch Modifikation Anlagentechnik und Prozessparameter
- Charakterisierung Proben mit Spektralellipsometrie

- Erstellung Überblick CVD-Verfahren zur Herstellung diamantähnlicher Schichten
- Branche: Auftragsbeschichtung - Medizinprodukte
- Einsatzmöglichkeit PECVD- als Alternative für PVD-Technologie zur DLC-Synthese
- Überblick über Stand der Technik und kommerziell verfügbare Anlagen

- Beratungsgespräche zur Verbesserung Stabilität PECVD-Prozesse
- Branche: Halbleiterfertigung
- Strategie für Reduktion-Prozesschwankungen bzw. Verbesserung Anlagen-Uptime
- Vorgehen zu Reduktion Metallkontamination und Stabilisierung TEOS-Prozess

Beschichten

1/2013 – 11/2013

Vorbereitung Selbständigkeit, fachliche Weiterbildung.

3/2009 – 12/2012

• Verantwortlich für PECVD-Prozesse: Etch Stop-, ARC- u. Passivierungsschichten
• Entw. von high-Stress-Schichten für Steigerung Transistorperformance (Patente erstellt)
• Entw. von Cu-Deckschicht-Interfaces von hoher Zuverlässigkeit (Patente erst., 2 Paper)
• Anwendung statist. Methoden (DOE, SPC)
• Leitung KVP-Projekte Steigerung Anlagenproduktivität
• Mitarbeit an Forschungsprojekten inkl. Dokumentation
• Schulung Mitarbeiter in Prozesstechnologie

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